气体质量流量控制器如何选择密封材料

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。

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使用挥发性液体蒸发汽，流体系统控制单元， 气压很低， 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低， 用普通MFC， 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明， 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC， 这时MFC的工作压差范围， 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时，流体系统控制单元厂家， 不能让汽化物在MFC中结露， 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露， 可以对管路和MFC适当加温， 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上， 需要特殊购买高温MFC产品。

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气体质量流量单位

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，流体系统控制单元哪家好，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

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