超精密加工简介

20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他***技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力，保证高度的尺寸稳定性，机械设备加工，防止加工后发生变形。加工设备要有极高的运动精度，导轨直线性和主轴回转精度要达到0.1微米级，微量进给和***精度要达到0.01微米级。对环境条件要求严格，须保持恒温、恒湿和空气洁净，并采取有效的防振措施。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统和计算机控制等各种***技术获得的。

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机械加工中常用的装配连接方式

螺母拧紧后，螺栓、螺钉头部应露出螺母端面2～3个螺距。

沉头螺钉紧固后，沉头不得高出沉孔端面。

各种密封毡圈、毡垫、石棉绳、皮碗等密封件装配前必须浸透油。钢纸板用热水泡软。紫铜垫做退火处理。

圆锥销装配时应与孔进行涂色检查，其接触率不应小于配合长度的60%，并应分布均匀。***销的端面一般应突出零件表面。带螺尾圆锥销装入相关零件后，机械设备加工商，其大端应沉入孔内。

钩头键、楔键装配后，机械设备加工工艺，其接触面积应不小于工作面积的70%，且不接触部分不得集中于一段。

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精密机械加工法

一般用天然单晶金刚石刀具，刀刃圆弧半径小于0.1微米。在高精度车床上加工可获得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度，坐标精度可达±2微米。②精铣：用于加工形状复杂的铝或铍合金结构件。依靠机床的导轨和主轴的精度来获得较高的相互位置精度。使用经仔细研磨的金刚石刀头进行高速铣切可获得的镜面。

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