真空电镀机的操作规范

1.正常工作的真空电镀机在开动时，需要先将水管打开，在真空电镀机运行之中要时刻注意水压的状态；

2.在离子轰击和蒸发时，要特别注意线路方面的情况，不得触动高压线头，以防触电；

3.在用真空电镀机的电子枪的时候，要在钟罩的外面围上一定的防护措施，在观察真空电镀机内部工作状态的时候，需要隔着一定的防护玻璃，观察者建议戴上铅玻璃的研究，以防X射线对***造成危害；

真空电镀机维修注意事项

4.在对多层介质膜进行镀膜时，要记得安装好通风吸尘装置，及时对***粉尘进行清除；

5.真空电镀机的酸洗装置需在通风装置内进行操作，且操作时工作人员应戴好橡胶手套；

6.真空电镀工作完毕之后，应进行断水和断电的操作，防止出现资源浪费和设备意外。

真空电镀机的***方法

1、真空电镀机每完成两百次以上的电镀工作时，应对工作室进行一次清洁，清洁的方法主要为用擦洗真空室内壁，使内壁上的铝和发生反应脱落并释放氢气，而后再用清水清洗一遍，后擦拭其他部位的污垢。

2、当真空电镀机的阀门或者泵连续工作一个月之后，需要对其机油进行更换，如果是在雨季情况下工作，则半个月就应更换一次。

3、如果真空电镀机的扩散泵连续使用了半年或者以上，则抽速会明显变慢，此时应当将水管和电炉盘拆下，用将泵内清洗一次，在用洗涤剂清洗一次，后用清水再冲洗一次。这样清洗完毕之后即可等待水份会发完成再次安装重新使用。在重新安装的时候要注意先对设备进行检漏。

磁控溅射镀膜设备溅射方式

清洗过程简化

现有镀膜工艺，多数均要求事先对工件进行严格清洗，既复杂又费事。然而，离子镀工艺自身就有一种离子轰击清洗作用，并且这一作用还一直延续于整个镀膜过程。清洗效果较好，能使镀层直接贴近基体，有效地增强了附着力，简化了大量的镀前清洗工作。

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真空电镀机操作注意事项

左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮'1'旋转至指向2区段测量位置。

当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。

发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。

旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。

发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。

旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。

旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。