真空离子镀膜机的自动化发展

真空离子镀膜机是太阳能真空管生产的关键设备，随着自动化技术的发展，其工艺要求及自动化程度也越来越高。

开始的真空离子镀膜机控制系统采用继电器控制，由模拟线路板及单片机等电路组成实现控制功能，因线路繁杂以及电子元器件的不稳定造成设备性能的不稳定，并且给维修工作带来很大困难，另外操作界面不直观，误操作现象时有发生。

目前，真空离子镀膜机已广泛采用PLC可编程器设计控制系统，该技术已相当成熟，基本取代了单片机，并采用***的人机界面触摸屏进行更加直观的人机对话，可方便地设定参数，由控制系统按工艺流程分步或自动运行，具有各种系统保护以及故障提示、报警信息等功能，并且通过利用PLC通讯功能，与上位机通讯，实现对真空离子镀膜机工艺流程的全程监控，以便工程师及时发现并处理故障信息以及远程修改工艺参数等，较大地方便了生产过程质量控制和管理。

磁控溅射镀膜设备溅射方式

绕镀能力强

离子镀时，蒸发料粒子是以带电离子的形式在电场中沿着电力线方向运动，因而凡是有电场存在的部位，均能获得良好镀层，这比普通真空镀膜只能在直射方向上获得镀层优越得多。因此，这种方法非常适合于镀复零件上的内孔、凹槽和窄缝。等其他方法难镀的部位。用普通真空镀膜只能镀直射表面，蒸发料粒子尤如攀登云梯一样，只能顺梯而上；而离子镀则能均匀地绕镀到零件的背面和内孔中，带电离子则好比坐上了直升飞机，能够沿着规定的航线飞抵其活动半径范围内的任何地方。

清洗过程简化

现有镀膜工艺，多数均要求事先对工件进行严格清洗，既复杂又费事。然而，离子镀工艺自身就有一种离子轰击清洗作用，并且这一作用还一直延续于整个镀膜过程。清洗效果较好，能使镀层直接贴近基体，有效地增强了附着力，简化了大量的镀前清洗工作。

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可镀材料广泛

离子镀由于是利用高能离子轰击工件表面，使大量的电能在工件表面转换成热能，从而促进了表层***的扩散作用和化学反应。然而，整个工件，特别是工件心部并未受到高温的影响。因此这种镀膜工艺的应用范围较广，受到的局限性则较小。通常，各种金属、合金以及某些合成材料、绝缘材料、热敏材料和高熔点材料等均可镀复。即可在金属工件上镀非金属或金属，也可在非金属上镀金属或非金属，甚至可镀塑料、橡胶、石英、陶瓷等。