离子束刻蚀
离子束刻蚀是利用具有一定能量的离子轰击材料表面,使材料原子发生溅射,从而达到刻蚀目的.把Ar、Kr或Xe之类惰性气体充入离子源放电室并使其电离形成等离子体,然后由栅极将离子呈束状引出并加速,聚焦离子束刻蚀机多少钱,具有一定能量的离子束进入工作室,射向固体表面撞击固体表面原子,聚焦离子束刻蚀机生产厂家,使材料原子发生溅射,达到刻蚀目的,聚焦离子束刻蚀机,属纯物理过程。
离子束刻蚀常见的效应
刻蚀的理想结果是将掩模(mask)的图形准确地转移到基片_上,尺寸没有变化。由于物理溅射的存在,掩模本身的不陡直和溅射产额随离子束入射角变化等原因,产生了刻面( Faceting)、槽底开沟(Trenching or Ditching) 和再沉积等现象,这些效应的存在降低了图形转移精度。
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离子束
1.蚀刻加工:离子蚀刻用于加工陀螺仪空气轴承和动压马达上的沟槽,分辨率高,精度、重复一致性好。离子束蚀刻应用的另一个方面是蚀刻高精度图形,如集成电路、光电器件和光集成器件等征电子学构件。太阳能电池表面具有非反射纹理表面。离子束蚀刻还应用于减薄材料,聚焦离子束刻蚀机工作原理,制作穿透式电子显微镜试片。2.离子束镀膜加工:离子束镀膜加工有溅射沉积和离子镀两种形式。离子镀可镀材料范围广泛,不论金属、非金属表面上均可镀制金属或非金属薄膜,各种合金、化合物、或某些合成材料、半导体材料、高熔点材料亦均可镀覆。
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