感应耦合等离子体刻蚀机的结构一
预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度,不受外界环境(如:粉尘、水汽)的影响,将***性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多感应耦合等离子体刻蚀的知识,欢迎拨打图片上的***联系我们。
感应耦合等离子体刻蚀机的结构三
创世威纳***生产、销售感应耦合等离子体刻蚀,我们为您分析该产品的以下信息。
供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体,通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。
以上就是关于感应耦合等离子体刻蚀的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的***电话!
感应耦合等离子体刻蚀机的结构四
真空系统真空系统有两套,分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供,刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。
想了解更多关于感应耦合等离子体刻蚀的相关资讯,请持续关注本公司。
版权所有©2024 产品网