陕西真空磁控溅射镀膜机-创世威纳科技
作者:创世威纳2019/12/31 9:55:07






磁控溅射设备的主要用途

(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,真空磁控溅射镀膜机生产厂家,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机(4)化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。(5) 在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。(6)在机械加工行业中,表面功能膜、超硬膜,自润滑薄膜的表面沉积技术自问世以来得到长足发展,能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能,从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。磁控溅射除上述已被大量应用的领域,还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。

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磁控溅射的原理

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成膜速率高,真空磁控溅射镀膜机报价,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜。该技术可以分为直流磁控溅射法和射频磁控溅射法。

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磁控溅射

磁控溅射靶材的利用率可成为磁控溅射源的工程设计和生产工艺成本核算的一个参数。目前没有见到对磁控溅射靶材利用率专门或系统研究的报道,而从理论上对磁控溅射靶材利用率近似计算的探讨具有实际意义。对于静态直冷矩形平面靶,即靶材与磁体之间无相对运动且靶材直接与冷却水接触的靶,?靶材利用率数据多在20%~30%左右(间冷靶相对要高一些,但其被刻蚀过程与直冷靶相同,不作专门讨论),且多为估计值。为了提高靶材利用率,研究出来了不同形式的动态靶,其中以旋转磁场圆柱靶工业上被广泛应用,据称这种靶材的利用率可超过70%,但缺少足够数据或理论证明。常见的磁控溅射靶材从几何形状上看有三种类型:矩形平面、圆形平面和圆柱管? 如何提高利用率是真空磁控溅射镀膜行业的***,圆柱管靶利用高,但在有些产业是不适用的,如何提高靶材利用,请到此一看的朋友,在下面留下你的见解,提供好的方法。

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