真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，EDWA*** RV12 真空泵公司，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，EDWA*** RV12 真空泵价格，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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密封性好，辽宁EDWA*** RV12 真空泵，密封寿命长

水氧保护装置，确保水氧检测准确、寿命长

***水氧检测技术

密封寿命超过十年

泄漏率低（＜0.001%/h），每日自动检测

气体吸附量大（O2：45-60L）

水氧含量准确可靠，探头失效报警

再生周期长（超过一年）

故障率低

使用安全方便

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手套箱的日常维护***

1.手套箱每周检查真空泵油面，不足三分之二时要注意添加，为保证真空泵的运转，延长真空泵的使用寿命，建议每半年更换一次真空泵油。

2.箱体和玻璃用常用的清洁剂清洗外面（禁止使用有腐蚀性的清洁剂）；用柔软的无绒屑的布；如果可能可以使用带刷子的吸尘器或粘纸滚轮。

3.检查手套是否破损，特别是手指头上，工作时请戴布手套以免在手套内产生水气。另外，工作完毕后请把每个手套上的5个指套指向外，防止时间长了，EDWA*** RV12 真空泵公司，汗液把指套粘住。注意：发现手套破损后要立即更换，禁止对手套进行任何修补。

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