试验室供气现状

目前我们可以用采用高压气瓶、液体杜瓦瓶、集中供气系统完成上述工作。同时，当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如气瓶、杜瓦瓶和液体储槽放置在工作区外的指1定区域，然后将气体通过管道系统输送至试验室内。

但是考虑安全和效率因素，不考虑经济性因素，集中供气系统是比较优1秀的方式。并成为当今试验室设备使用高纯气体的可靠连续的供应源，气体通过管道系统输送至试验室内，并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。

国内比较老的试验室在使用气体的时候大多是将气瓶放在用气点的旁边，然后在气瓶出口处安装一个减压器，然后直接通过紫铜管或四氟软管连接到仪器上，如果一个试验室里有多个使用设备时，就会有很多气瓶，同时有很多杂乱的管路，同时这些气体不乏有***体、强腐蚀气体，以及气瓶出口高压等因素，使得这种方式在现实使用过程中是充满***性的。

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试验室集中供气系统的特点

1、特点：试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高，为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。

2、经济性：建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间，更换气瓶时不需要切断气体，高纯供气系统公司，保证气体的连续供应。使用者只需管理较少的气瓶，***较少的气瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式***终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的气瓶管理。

3、使用率：集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。

4、安全性：保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受******气体的侵害。

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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的***规模巨大，采用***1***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出***严格的要求。

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