CT系列镀膜机
CT(Custamued workstation)系列镀膜机系我司非标定制产品,根据您的要求单独设计,满足您的特殊需要。
特点:1、按需开发,真空镀膜系统哪家好,量身定制。
2、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,安全。
3、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选
4、可集成手套箱系统
5、可集成多种自动化应用
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现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法
涂层的镀膜机控制方法是***直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。
此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种高精度涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。
精度的提高,由于许多因素,但***根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机***的光学监测软件结合王博士的发展,真空镀膜系统生产厂家,有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少***终的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。
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真空镀膜机部件分析
真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用***1多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔体由不锈钢' target=_blankgt;不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,真空镀膜系统厂家,用来连接各抽气泵浦。
辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
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