氦质谱检漏仪的注意事项

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。测试方法，使用氦质谱检漏仪的正压法，先将灭火器内冲入氦气，然后放在密闭腔体内，腔体与氦质谱检漏仪相连，工作时先将腔体内抽真空，到达一定的真空度后开始检漏，测试漏率在10-5mbar。笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果第1次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。

清除时间在理论上与响应时间相同，但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清除时间一般要更长些。笔者测算，在测试到数量级为10-9P a ?m3/s的微漏漏点时，清除时间约须1分钟；在测试到数量级为10-8P a ? m3/s的中漏漏点时，清除时间约须2分钟；在测试到数量级为10-7Pa?m3/s的大漏漏点时，清除时间在3分钟左右。其中正压吸枪法采用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的准确***。

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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

　　氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。环境温度较好控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

氦气检漏的主要参数及优势

1、关键零部件***集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；

2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、高精度；

3、特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；

4、实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；

6、可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；

7、***定制的的密封接头，稳定可靠，减少误判。

8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。

9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。

今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势，希望对您有所帮助！