冷凝器氦检漏质量材质
作者:科仪创新真空2020/9/24 3:16:10





氦质谱检漏仪的主要及时指标

科仪创新是***生产氦质谱检漏仪的厂家,***用于电厂检漏。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,冷凝器氦检漏,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。今天科仪创新的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪的主要及时指标。

1. 较小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 启动时间:≤5min

4. 响应时间:≤1s

5. 检漏口的较高压力:1500Pa

6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A

7. 工作环境:5-35℃

8. 相对湿度:≤80%

9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)

10. 重量:64kg



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氦质谱检漏仪的工作原理

今天科仪创新的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理,希望对您有所帮助!

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号,而对其他气体没有响应,从而检漏。








氦质谱检漏仪的结构和工作原理

  氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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