氦质谱检漏仪-科仪创新真空公司-冷凝器氦质谱检漏仪
作者:科仪创新真空2020/9/23 16:53:04





氦质谱检漏仪的主要及时指标

科仪创新是***生产氦质谱检漏仪的厂家,***用于电厂检漏。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。今天科仪创新的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪的主要及时指标。

1. 较小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 启动时间:≤5min

4. 响应时间:≤1s

5. 检漏口的较高压力:1500Pa

6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A

7. 工作环境:5-35℃

8. 相对湿度:≤80%

9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)

10. 重量:64kg



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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

  氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,冷凝器氦质谱检漏仪,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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检漏仪的优点

1、多种语言和计量单位选择,可选中文界面。

2、135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构。

3、新的电子线路及信号处理设计。

4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。

5、快速清氦和快速响应。

6、测试口耐压高,可实现大漏检漏。

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