氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择
氦质谱检漏仪厂家的氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑:
(1)无害,不能对***或环境造成伤害;
(2)质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;
(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易1燃易1爆;
(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。
氢和氦都是比较理想的示踪气体,空气中的含量少,质量轻,运动速度快,分子直径小,同等条件下,直线运动距离长。在实际使用中,也相对比较容易获取,可以大量使用。由于He具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性,因此一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及***性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。
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氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些***生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。
氦质谱检测仪的标准器选择
北京科仪创新真空技术有限公司***生产氦质谱检漏仪,今天科仪创新的小编就大家来分享一下氦质谱检漏仪的标准器的选择,希望对大家有所帮助!
标准器 采 用 渗 氦 型 标 准 漏 孔,漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不确定度不大于 10% 。
精密玻璃温度计,测量范围(0 ~ 50) ℃ ,不确定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
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