净化间的工作原理

工作原理：采用高压静电吸附除尘工作原理。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。静电式是采用高压静电吸附除尘的工作原理。静电场中的阴极线在高压静电的作用下，电晕层中产生大量的负离子，负离子在静电场的作用下，不断地向阳极运动。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）运动，到达阳极后释放电荷。 　缺点：可去除飘尘（不能去除气体），效能比机械式低、慢，而且易产生臭氧，此机型被美国市场评为***差净化器。

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净化间的温度

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。净化间的电磁波静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

净化间

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●确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。●净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在***空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、***空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。●净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量***物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。