净化间的恒温

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直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，净化间哪家好，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。

净化间的气流速度

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洁净室中的气流速度规定这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，净化间，要求速度衰减更快，扩散角度更大。(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，净化间厂，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

净化间的处理方案

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净化工程中空气净化处理方案●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、***空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚***空气过滤器代***空气过滤器。●空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；***空气过滤器或亚***空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，***空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚***、***空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的***空气过滤器宜设置在同一净化车间内。

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