净化间的加湿

在加湿问题上还有一个应注意的问题就是空调器内空气流动带水的问题。有的工程中由于加湿的带水问题没有处理好，结果后面的中效过滤器甚至***过滤器都被携带的水打湿了。对于干蒸汽加湿器也要注意蒸汽管和凝结水管的坡度和坡向问题，要使凝结水迅速地排到空调器外。若加湿器设在空调器的风机段内，还应采取措施避免凝结水滴到电机上，造成电机短路断电。光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案

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净化间的温度

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，净化间工程，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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净化间的设备应用

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净化设备可使用油雾分离器，油雾净化器，百级净化间工程，油雾处理器，油雾收集器，实验室净化间工程，油雾过滤器、袋式除尘器、无尘工作台、初效/中/***过滤器、过滤器、水蒸发空调机、水温空调等。大致的工作原理为：当控制器接通电源时，油雾分离器口产生强大的静压迫使油雾被定向吸入油雾分离器内。在油雾分离器内风轮的作用下发生碰撞，使微小的颗粒集合成能被控制的小颗粒，在***吸雾材料的阻挡下实现空气与水的分离。一次过滤液相捕获： 旋转式螺旋过滤器，将吸入的介质中的固体颗粒首先拦截下来。

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