减薄机设备原理

1.本系列横向减薄研磨机为全自动精密磨削设备，由真空吸盘或者电磁吸盘吸附工件与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损，而且磨削均匀生产；

2.设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度，从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损，自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。

高精密横向减薄设备特点：

1.可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内；

2.减薄，LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度较高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度较高可减薄250微米；

3.系列研磨机采用CNC程控系统，触摸屏操作面板。

立式减薄机IVG-200S设备规格

设备规格：

1）磨盘主轴系统

A） 类型：滚子轴承

B） 电机：AC 伺服电机(3.0kW)

C） 砂轮规格：Ф200mm

2) 工件盘主轴系统

A) 类型：滚子轴承

B) 电机：齿轮电机（0.75kW）

3) 进给系统

A) 类型：Combination of Ball Serve and LM Guide

B) 电机：微步进给电机

C) 控制：0.1μm Control by Linear Scale Feedback

4) 控制系统（PLC）

A) 制造商：Parker Hannifin Co.

B) 控制器：SX Indexer/Drive

C) 显示系统：EASON 900

5) 辅助设备

A) 电源：220V，50Hz,3相，5kW

B) 气压：5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6Mpa)

C) 离心分离机：Sludge Free(SF100)(选配件)

D) 水箱容量：200L

E) 冷凝器：0.5kw

F) 过滤装置：20μm,10μm Cartridge Filter

6) 尺寸及重量

设备尺寸：1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)

设备重量：1,400kg

立式减薄机IVG-200S设备特点

1．操作简单

该设备采用PLC控制系统，通过简单的培训，操作者即可在液晶显示屏友好界面的引导下，熟练操作设备。当设备出现故障时, 屏幕向导会提示出错编码，易于排除故障。

2．设计安全

该设备的设计处处为使用者的安全着想，保证操作加工的安全。

3．保证精度

磨盘的进给采用微米步进电机进给系统，保证长时间的加工精度。

4．各轮***驱动

磨盘及工件盘均采用***的电机，分别采用变频或伺服控制，转速可任意调整，且控制简便。

5．冷却水循环使用

冷却水箱配有杂质过滤系统，冷却水可循环使用，即节约成本，又减少了对环境的环境。一台冷却水箱可同时连接多台设备。