扩散硅传感器的工作原理

扩散硅式压力变送器的传感器部分是压阻式压力传感器，它是基于半导体的压阻效应，将单晶硅膜片和电阻条采用集成电路工艺结合在一起，构成硅压阻芯片，然后将芯片封接在传感器的外壳内，连接出电极引线而制成。

当被测介质的压力作用于传感器的膜片（多为不锈钢）上时，膜片产生与扩散硅无腔压力传感器介质压力成正比的微位移，使传感器内部的电阻条阻值产生变化。传感器电路得到恒流激励后会将这一变化转换成与这一压力对应的标准测量信号（毫伏信号）。

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扩散硅传感元件原理及特点

压阻效应本质就是应力的作用。 即在硅材料沿某一晶向施加一定的压力时 , 使它们之间的能带形状发生变化 , 引起单晶体电导率的改变。 其变化值与所加的应力大小和方向有着一定的关系。 扩散硅应变元件就是利用压阻效应制成的。

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什么叫扩散硅压力传感器

扩散硅压力传感器工作原理：硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时（一般步于400微应变），其内部原子结构的电子能级状态会发生变化，从而导致其电阻率剧烈变化（G因子突变）。

用此材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。

给传感器匹配一放大电路及相关部件，使之输出一个标准信号，就组成了一台完整的变送器。

扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片***大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高.