硅传感器

扩散硅式压力变送器》的附录A为规范性附录。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术会归口。本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院、昆山双桥传感器测控技术有限公司、***仪器仪表元器件质量监督检验中心。本标准主要起草人：张卫、王文襄、李振波、郑殿忠、徐秋玲、于振毅。本标准为发布。

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传感器紧跟物联网的脚步

如果物联网将实现数以百亿计的智能设备连接，或许到2020年，我们能以比语音和触摸更好的方式来与这个世界互动。而智能装备之所以***，离不开它的基础感官设备——传感器的快速发展。

物联网由几个技术层级组成，这些层级使普通事物能够共享数据，并提供智能、自主行动和价值，而这些在很大程度上取决于数据本身的质量。因此，传感器是物联网技术堆栈中不可或缺的一部分，并且也是每个物联网系统开发中的成败要素。

显然，传感器和对物联网非常重要，但是它到底是什么？传感器，也称为换能器，是一种装置，其任务是检测周围环境中的事件或变化，并将这些物理现象（如温度、光、空气湿度、运动、化学物质等）转换成可输出的信号，然后可以对其进行有意义的解读。

目前，传感器已经被广泛的应用于工业、汽车电子产品、通信电子产品夫和消费电子产品等领域。

扩散硅压力传感器的基本原理

压力传感器的制造中一般利用集成电路平面工艺，用杂志扩散或离子注入的方法形成电阻器。扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，扩散硅压力传感器多少钱，电流边与扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流便与扩散层表面平行流过电阻器。在压力传感器的设计。制造时，需要了解不同温度下硅扩散层的压阻特性，选择合适的扩散条件，选用一定型号、晶向的扩散电阻以获得较高的灵敏度和晓得灵敏度系数，力求使压力传感器有良好的性能。

扩散层的平均压阻系数：扩散层中杂质往往呈误差函数（恒定表面源条件下）或余误差函数（恒定表面浓度条件）分布。也就是说，表面杂质浓度高，电流便呈现不均匀分布。虽然应力在电阻的纵剖面是均匀分布的，而压阻系数取决于杂质浓度。以此在扩散层上电阻的改变的百分量是不同的。这又使扩散层中电流在纵向中心分布并造成压阻值和应力之间的非线性。

扩散层硅的电阻温度特性与压力传感器的热零点漂移以及热灵敏度有密切的关系。

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