扩散压力传感器

扩散硅压力变送器通过温度传感器把温度信号变为电信号，再由前置放大器把此电信号放大滤波，送往CPU的A/D 转换模块进行模拟量到数字量的变换，后由CPU进行数据处理并显示及PWM输出。原理框图如下：被侧介质---〉传感器---〉电子线路---〉输出信号被测介质的压力直接作用于传感器的陶瓷/扩散硅膜片/上，使膜片产生与介质压力成正比的微小位移，正常工作状态下，膜片位移不大于0.025毫米，电子线路检测这一位移量后，即把这一位移量转换成对应于这一压力的标准工业测量信号。超压时膜片直接贴到坚固的陶瓷基体/扩散硅上，由于膜片与基体的间隙只有0.1毫米，因此过压时膜片的位移只能是0.1毫米，所以从结构上保证了膜片不会产生过大变形，该传感器具有很好的稳定性和高可靠性。

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扩散硅压力变送器

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扩散硅压力变送器是压力变送器中比较小巧、重量轻、价格低的一款产品，具有安装方便、性能稳定、工作可靠等特点，在正负压力测量的环境中得到广泛的使用，感温元件采用进口扩散硅或陶瓷芯体元件器，传感器内采用电子放大器组成，将测量的信号转换成0-10MA或4-20MA的输出信号。

扩散硅压力传感器的基本原理

压力传感器的制造中一般利用集成电路平面工艺，用杂志扩散或离子注入的方法形成电阻器。扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流边与扩散层被用来作为应力或应变敏感的电阻器，电流便与扩散层表面平行流过电阻器。在压力传感器的设计。制造时，需要了解不同温度下硅扩散层的压阻特性，选择合适的扩散条件，选用一定型号、晶向的扩散电阻以获得较高的灵敏度和晓得灵敏度系数，力求使压力传感器有良好的性能。

扩散层的平均压阻系数：扩散层中杂质往往呈误差函数（恒定表面源条件下）或余误差函数（恒定表面浓度条件）分布。也就是说，表面杂质浓度高，电流便呈现不均匀分布。虽然应力在电阻的纵剖面是均匀分布的，而压阻系数取决于杂质浓度。以此在扩散层上电阻的改变的百分量是不同的。这又使扩散层中电流在纵向中心分布并造成压阻值和应力之间的非线性。

扩散层硅的电阻温度特性与压力传感器的热零点漂移以及热灵敏度有密切的关系。