镀膜设备-光学镀膜设备厂家-至成真空科技
真空镀膜技术在光学仪器中的应用人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪、以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等。它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。一般光学仪器中的光学系统都由多个透镜组成,光线要经玻璃界面,会有相当多的光线被反射掉,透过的光线很少,影响光学仪器的光学效果。为了减少反射损耗,增大光线的透过率,往往在玻璃表面沉积增透膜来提高光的透过率。反射膜与增透膜相反,反射膜要求把入射光大部分或几乎全部反射回去。例如:光学仪器、激光器、波导管、汽车和灯具的反射镜都需要镀反射膜。反射膜有金属膜和介质膜两种。镀制金属高反射膜常用的材料有铝、银、金、铜等。为了提高金属膜表面的抗擦损能力,往往在表面镀一层保护膜,如SiO/SiO2/Al2O3。在激光器和多光束干涉仪反射镜上,一般沉积低吸收、高反射的全介质反射膜。其结构是在基片上交替沉积光学厚度为λ/4的高、低折射率材料的膜层。常用的光学镀膜有哪些?分光膜根据一定的要求和一定的方式把光束分成两部分的薄膜。分光膜主要包括波长分光膜、光强分光膜和偏振分光膜等几类。波长分光膜又叫双色分光膜,顾名思义它是按波长区域把光束分成两部分的薄膜。这种膜可以是一种截止滤光片或带通滤光片,所不同的是,波长分光膜不仅要考虑透过光而且要考虑反射光,二者都要求有一定形状的光谱曲线。波长分光膜通常在一定入射角下使用,在这种情况下,由于偏振的影响,光谱曲线会发生畸变,为了克服这种影响,必须考虑薄膜的消偏振问题。光强分光膜是按照一定的光强比把光束分成两部分的薄膜,这种薄膜有时仅考虑某一波长,叫做单色分光膜;有时需要考虑一个光谱区域叫做宽带分光膜;用于可见光的宽带分光膜,又叫做中性分光膜。这种膜也常在斜入射下应用,由于偏振的影响,二束光的偏振状态可以相差很多,在有些工作中,可以不考虑这种差别,但在另一些工作中(例如某些干涉仪),则要求两束光都是消偏振的,这就需要设计和制备消偏振膜。真空镀膜机蒸发系统介绍真空镀膜机蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用多,广泛的蒸发方式,也是应用时间长的蒸发方式。它的工作方式是,将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,在钨舟***加上***,再缓缓给电极通电,电流通过钨舟,钨舟通电发热,这些低电压,大电流使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了,此方法由于操作方便,结构简单,成本低廉,故被很多设备应用,但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料无法采用这种方式蒸镀,所以其有一定局限性。钨舟蒸发镀膜材料的时候,材料的熔点必须小于钨舟的熔点,否则就没有办法进行。)