离子镀膜机-PVD离子镀膜机厂家-至成***离子镀膜机
真空镀膜机给物件镀膜,为什么要在真空状态下进行?真空镀膜机已经广泛应用于生活中,大家对它也是耳熟能详,也了解他的作用和用处,包括他的应用领域,但是很多人却不太了解,真空镀膜机在给物件镀上一层膜的时候,为什么要选择在真空状态下进行:大家都知道物件镀膜在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜,事实上,如在压力不够低(或者说真空度不够高)的情况下同样得不到好的结果,比如在10托数量级下蒸镀铝,得到的膜层不但不光亮,甚至发灰、发黑,而且机械强度极差,用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层***。蒸镀必须在一定的真空条件下进行,这是因为:(1)较高的真空度可以保证汽化分子的平均自由程大于蒸发源到基底的距离。由于气体分子的热运动,分子之间的碰撞也是极其频繁的,所以尽管气体分子运动的速度相当的高(可达每秒几百米),但是由于它在前进的过程中要与其它分子多次碰撞,一个分子在两次连续碰撞之间所走的距离被称为它的自由程,而大量分子自由程的统计平均值就被称为分子的平均自由程。(2)在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下,真空室内含有众多的残余气体分子(氧、氮、水及碳氢化合物等),它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短;它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应;它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜;它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命;它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行。光学镀膜技术在过去几十年实现了飞快的发展,从舟蒸发、电子束热蒸发及其离子束辅助沉积技术发展到离子束溅射和磁控溅射技术。近年来在这些沉积技术和装备领域的主要技术有以下三点:一、渐变折射率结构薄膜技术与装备:渐变折射率结构薄膜技术与装备:已经有大量研究工作已经证实Rugate***面型薄膜结构和准Rugate多种折射率薄膜结构通过加强调制折射率在薄膜厚度方向上分布,能设计出非常复杂的光谱性能,(部分)消除了薄膜界面特征,(部分)消除界面效应,如电磁波在界面上比薄膜内部更高密度的吸收中心和散射,也可以增加了薄膜力学稳定性。二、磁控溅射光学镀膜系统以LeyboldHelios和ShincronRAS为代表,磁控溅射技术及装备在精密光学领域和消费光电子薄膜领域占据越来越大的份额。磁控溅射薄膜沉积过程控制简单,粒子能量高,获得的薄膜结构致密稳定。三、间歇式直接光控:间歇式直接光控:以LeyboldOptics公司的OMS5000系统为代表,光学镀膜过程中越来越多地使用间歇式信号采集系统,对镀膜过程产品片实现直接监控。相对于间接光控和晶控系统,间歇式直接光控系统有利于降低实际产品上的薄膜厚度分布误差,可以进一步提高产品良率并减少了工艺调试时间。双色真空镀膜机PVD技术的应用范围及优缺点很多人对真空镀膜机PVD技术的了解不是特别全,也不知***体是应用到哪些行业,以及它在实际运用过程有哪些优缺点?至成真空小编现在详细和大家介绍一下:真空镀膜机PVD技术其应用范围是:1)碳钢、合金钢、不锈钢及钛合金等金属材料;2)金属材料的表面硬度至少需要在HV170以上。真空镀膜机PVD技术其优点是:与传统磁控溅射单色PVD技术相比,双色PVD工艺更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高,但外观效果***,两种颜色的表面硬度都在HV600以上。传统磁控溅射单色PVD技术要在实现双色效果,采取的工艺措施是在整体PVD单色的基础上把需要实现另一种颜色的区域激光镭雕掉或者磨掉。新加工出来的区域就只能表现金属的本色,表面硬度也就是金属本身的表面硬度---HV200左右(而PVD后的表面硬度为HV600以上)。)
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