光发射显微镜emmi光发射显微镜是器件分析过程中针对漏电失效模式，必不可少的分析工具。器件在设计、生产制造过程中有绝缘缺陷，或者期间经过外界静***穿，均会造成器件漏电失效。漏电失效模式的器件在通电得状态下，内部形成流动电流，漏电位置的电子会发生迁移，形成电能向光能的转化，即电能以光能的方式释放，从而形成200nm~1700nm红外线。光发射显微镜主要利用红外线侦测器，通过红外显微镜探测到这些释放出来的红外线，从而精准的***到器件的漏电点。我司推出的P-100光发射显微镜(EMMI),在同业中具有超高的性价比,并凭借良好的***服务,迅速占领市场.目前大中国地区的知名失效分析客户有:上海宜硕、深圳宜智发、上海闳康、上海矾诠、广州五所、北京电科院、东南大学、乐山菲尼克斯、深圳明微。。。。。。JunctionLeakageOxideLeakageSystemCompositionItemsSpecificationcameraCoolingCCDCameraCoolingSiliconCCD-65℃",ForcedAir+4stagePeltierCoolingPixelsize24umx24umResoluiion512x512HighQEUV~NIRQEAt1000nm>=20%DualReadOutModeFastScanMode2.5MHZ/PixelSlowScanMode(HighSensitivity)0.156MHz/PixelDarkCurrent<=0.17electron/pixel/sReadoutnoise7electron(r.m.s)Dynamicrange32875:1A/DConverter16bitReadout/controlInterfaceIEEE1394ExposureTime20ms~7200sContrastenhancementMax16xMicroscopeHighPresicionMotorizedXYZStageStageResolution0.1umAccuracy&plu***n;1umXStroke(MovingRange)>50mmYStroke(MovingRange>30mmZStroke>100mmMotorizedLensChangerWithOpticsAxisCorrectionScrewsForEachLensPosition4holes/RS232ControlInterfaceLightBoxDualLightSource(Visible,NIR)AutoSwitchNIRLightTran***ission>70%NIRLens2.5x,5x,20x,100xEyepieces10xControlC***oleX/Y/Z/LensChange/LightAdjustAutoLensAlighmentAccuracy<5umPattern/EmissionOpticsSwitchInGaAscamera冷却方式coolingdownto-70摄氏度侦测波长范围900～1700nm解析度320*256（软件能力640*512）QERangeQE@1300nm>70%PixelSize30um*30umHighGain>300secDarkBoxWithAnti-VinrationTableInteligentTemperatureControlLightShiledDarkBoxHighStableAnti-VibrationTable)