KOSAKALABET4000A微细形状测定机（探针接触式台阶仪）株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，为日本***家发表表面粗糙度计的厂商，公司具有悠久历史与***的技术背景。公司主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为***具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。探针接触式微细形状测定机（表面轮廓台阶仪）特点：l***的台阶再现性与线性度。l超高直线度保证，可确保量测图形不受移动轴影响，并可在保证直线度的前提下长距离量测，同时解析表面翘曲度、波纹度、内应力等。l采用超低噪音直动式传感器LVDT（差动变压器），超低测定力的触针可对应各类型样品表面。l配备高分辨率的CCD即时进行高精度***测量，实时观测测量过程。l中文化软件除台阶分析外并具有粗糙度解析功能，可对应各种国际规范，测定参数多达60多种。l适用于各种与微米、纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物***器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等的膜厚、台阶、段差测量。技术参数：一、测定工件：1.工作台尺寸220mm×220mm2.***大工件尺寸210mm×210mm3.***大工件厚度50mm4.***大工件重量2kg二、检出器（pickup）：1.Z方向测定范围Max.100µm2.Z方向分解能0.1nm3.测定力0.5uN~500uN(0.05mgf~50mgf)4.触针材质、半径、夹角钻石、0.5,2µm、60%夹角5.驱动方式直动式6.再现性1σ=0.5nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下三、X轴(基准轴)：1.移动量(***大测长)100mm2.移动的真直度0.005µm/5mm3.测定速度0.005~2mm/S4.位置***时速度Max.10mm/S5.线性尺(linarscale)分解能0.01µm6.位置***再现性&plu***n;5µm四、Y轴(位置决定用)：1.移动量52mm2.移动速度max.3mm/S3.检出器自动停止机能六、工件台：1.工件台尺寸220mm×220mm2.自动倾斜量X:&plu***n;1mm/150mmY:&plu***n;1mm/150m七、全自动量测功能八、工件观察装置max.80倍(可选购其它高倍率CCD)九、床台材质为花岗岩石十、防振台(选购)落地型或桌上型十一、电源AC100V&plu***n;10%,50/60HZ,800VA十二、本体外观尺寸W660×D580×H660mm(不含防震台)十三、本体重量一体花岗岩结构约220Kg(不含防震台及解析部份))