日本ULVAC爱发科LR1800真空泵维修/***干泵LR/HR/URseries通过独自的高温均热化技术，有效利用压缩热，实现了CVD、蚀刻等硬流程的高耐久性。轻流程的话通过搭配ECO-SHOCK可以***多减少约80%的用电量。另外，提高了干泵的维护***性能以及减少了噪音，全机种都能适用。关于CEO-SHOCK的详细信息，请从关联情报中浏览。特点LRSeries:低温领域均热化针对于惰性气体的排气增加,特别是为了提高处理能力,缩短排气时间HRSeries/URSeries:高温领域均热化CVD、蚀刻法等发生时，升华性排气物质的可以以气体状态排出1000msec以内的瞬停对策可以对应CE用途活性气体（CVD、干腐蚀等）惰性气体排气（溅射、蒸着、热处理等）排气时间缩短（LRSeries)粉体发生时的过程排气（Si单结晶提高等）辅助排气泵（漩涡分子泵、机械泵的辅助排气）)