真空***相沉積設備是一種用於***子產品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、***質***體經過昇華、***解後進入放置產品的真空反應室，借助空間***相化***反應,在產品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，***應力、優異的***絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防***霧的薄膜塗層。廣泛應用於：航空航太、***路板、LED、磁性材料、感測器、矽橡膠、密封件、***療器械、珍貴***等領域產品的防水封裝與保護工藝中。)