详细资料：工程单位测量气体流量和相关的累积器数据，可以通过前面板按键或者数字接口指令直接设置工程单位。支持下列测量单位：百分比、mL/min、mL/hr、scfm、scfh、sL/min、sL/hr、lbs/hr、bs/min以及一个用户定义的测量单位。多气体校准DFM可存储***多10种气体的校准数据。也可以在气体比例***的条件下进行多气体校准。转换系数DFM***多可存储32种气体的转换系数，而且用户可自定义转换系数，转换系数可以通过按键或数字接口指令从任何十种气体校准数据中转换。)