详细资料：质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需***测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。特征它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。1.适用于高温：可满足150℃烘焙2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号3.超清洁类型：接气部全不锈钢构造4.***适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制規格SEC-8340SL搭载有主体加温加热器气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃SEC-8340***本体加温ヒータ搭載气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃SEC-8440LSL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2/3/5SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃SEC-8450LSL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程10/20SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃SEC-8455LSL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程30/50SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃SEC-8460LSL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程50/100SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：15?35℃SEC-8440L***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2/3/5SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃SEC-8450L***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程10/20SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃SEC-8455L***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程30/50SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃SEC-8460L***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程50/100SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：35?60℃SEC-8440LSH气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2/3/5SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃SEC-8450LSH气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程10/20SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃SEC-8455LSH气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程30/50SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃SEC-8460LSH气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程50/100SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：60?80℃SEC-8440SL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃SEC-8450SL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程3/5/10SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃SEC-8455SL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程10/20SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃SEC-8460SL气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程20/30/50SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：80?100℃SEC-8440***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程5/10/20/50/100/200/500SCCM1/2SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃SEC-8450***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程3/5/10SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃SEC-8455***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程10/20SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃SEC-8460***气体接触部材质SUS-316L阀门类型NO:非通电时：开标准流量量程20/30/50SLM流量控制范围2?100％F.S.(满量程)流量精度&plu***n;1.0％F.S.(满量程) 使用温度：100?120℃产品相关图及其它)