AALBORG GFC气体质量流量控制器
美国AALBORGGFC17GFC37GFC57GFC67GFC77气体质量流量控制器可控制流速在10SCCM到1000SLM范围内的多种气体的流量。GFC利用通过加热管进行的热传递直接测量气体质量流量,并且无需对(规定限值以内)的气体温度或压力变动进行补偿。该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质/铜质结构,以及用于有更高耐腐蚀要求应用场合的316不锈钢结构。不带一体式显示屏的FMA5400系列控制器具有0-5Vdc和4-20mA模拟输出,以便进行远程监测;GFC系列控制器兼具一体式3½位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜90度,查看读数时很方便,显示屏还经过校准,可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流速,可以通过专门订购来获得其它气体校准。GFC质量流量控制器带有内置式电磁阀,无论入口或出口压力如何变化,都能保持稳定的流速。设定值可通过电位器(通过壳体上的窗口可调整该电位器)本地控制,或者可以通过0-5Vdc或4-20mA(现场可选)模拟信号远程控制。精度:满量程的&plu***n;1%,包括在15~25°C(59~77°F)以及0.7~4.2kg/cm2(10~60psia)范围内的线性度;对于流量=100SLM的控制器,在0~20%量程范围内精度为满量程的&plu***n;3%重复性:满量程的&plu***n;0.5%温度系数:满量程的0.15%/°C压力系数:每psi(0.07bar)为满量程的0.01%***大压降:50psid响应时间:在满量程的25~100%范围大约5秒达到设定流速的&plu***n;2%内***大气体压力:70kg/cm2表压(1000psig);1.76kg/cm2(25psig)***适宜气体和环境温度:5~50°C(41~122°F)泄漏完整性:对于外界环境,***大泄漏为1x10-7cc/sec氦气接液材质:铝质型号:阳极氧化铝、316不锈钢、铜和氟橡胶O形圈不锈钢型号:316不锈钢和氟橡胶O形圈输出信号:线性0~5Vdc:***小负载1000V4~20mA:环路电阻为50~500V,***大噪声&plu***n;20mV传感器电源:12Vdc@800mA(标配);24Vdc@650mA(可选)量程比:50:1运输重量:1.8kg(4lb)顺从标准:EN550111类,B类;EN50082-1)
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