超平硅片（AFM、SEM用硅片）常作为AFM基底片用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：4"6"8"直径100mm150mm200mm向性<100><100><100>级别P/BoronP/BoronP/BoronGrowthMethod:CZCZCZ电阻率10-20Ohm-cm10-20Ohm-cm10-20Ohm-cm厚度525µm&plu***n;20µm675µm&plu***n;20µm725µm&plu***n;20µmTTV:<4.00µm<4.00µm<4.00µmSFPD:<2.0µm<2.0µm<2.0µmWarp:≤30µm≤30µm≤30µmBow:≤30µm≤30µm≤30µm微粒数≤20@≥0.3µm≤20@≥0.3µm≤20@≥0.3µm正面FrontSurfacePolishedPolishedPolished背面BackSurfaceEtchedEtchedEtched平整度Flat:2perSEMIStandard1perSEMIStandard2perSEMIStandardSiteFlatness:<2.0µm<2.0µm<2.0µm粗糙RoughnessTypically2-3ÅTypically2-3ÅTypically2-3Å产品选购：货号产品名称规格71893-01Ultra-FlatSiliconWafer,4"1片71893-02Ultra-FlatSiliconWafer,6"1片71893-03Ultra-FlatSiliconWafer,8"1片)