Aerotech纳米级***平台-ANT系列一、ANT95-L系列纳米级精密***平台优点：非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程1：高分辨率1nm2：重复***精度&plu***n;25nm3：***精度&plu***n;250nm4：行程25-50mm交叉滚柱轴承专利设计可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的***小步进。二、ANT130-L系列纳米级精密***平台优点：非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程35-160mm1：高分辨率1nm2：重复***精度&plu***n;25nm3：***精度&plu***n;250nm4：行程35-160mm交叉滚柱轴承专利设计可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的***小步进。三、Z轴运动平台ANT95-L-Z与ANT130-L-Z系列纳米级精密***平台优点：非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程25-60mm1：高分辨率2nm2：重复***精度&plu***n;75nm3：***精度&plu***n;300nm4：行程25-60mm交叉滚柱轴承专利设计可以实现2nm的***小步进。四、纳米垂直升降台垂直升降，非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，行程3-5mm1：高分辨率1nm2：重复***精度&plu***n;75nm3：***精度&plu***n;200nm4：行程3-5mm交叉滚柱轴承专利设计可以实现1nm的***小步进。更多Aerotech纳米***平台请联系销售工程师：张巨鹏1851855658818132051229)