Aerotech气浮平台ABL1000气浮平台1专为高性能校准和装配应用设计2分辨率达2nm的直线编码器反馈3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)4全预加负载气浮导轨(空气轴承)5低噪音线性放大器6全部非接触设计行程≤150mm精度&plu***n;0.20um重复***精度&plu***n;0.05um直线度&plu***n;0.25um平面度&plu***n;0.25um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@ABL3600气浮平台1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计2双轴,大孔,开放式结构3非接触直线编码器反馈,精度高4双直线电机驱动XY轴5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)行程≤250mm精度&plu***n;1um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.50um平面度&plu***n;1um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@ABL8000气浮平台1专为有效负载大,负载***偏离机架中心线的应用设计2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性***3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)4行程达1米5直线编码器或激光干涉仪反馈6可集成包括花岗岩的XY子系统行程≤1000mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.40um平面度&plu***n;0.40um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@ABL9000气浮平台1世上***高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)3行程达1.2米X1.2米4Y轴双直线电机驱动5直线编码器或激光干涉仪反馈6主动控制偏转行程≤1200mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.10um直线度&plu***n;0.50um平面度&plu***n;0.50um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@AHL9000直线电机平台1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承3行程达1.2米X1.2米4双直线电机驱动步进轴5直线编码器或激光干涉仪反馈行程≤350mm精度&plu***n;1.0um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.60um平面度&plu***n;0.60um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@ABG10000气浮平台1气浮导轨实现超平滑运动2所有轴都预加载荷3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动3行程达1mx1m4非接触直线编码器(光栅)5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．Tr***el行程≤1000mmAccuracy精度&plu***n;2.0umLoad负载84kg更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@FiberCouple130平台1同一条导轨上两个运动平台2***或并列运动32.5nm分辨率4非接触直线电机驱动5交钥匙的配套驱动和控制系统6适合辅助轴更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@VascuLatheACS/ASR1.直线平台与旋转平台的高度集成化2.ER筒夹系统使材料箝位自动化3.可选夹紧装置夹紧管4***的控制系统结构5.单或双主轴结构6.可选择湿切割7.拥有两项专利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956LaserTurn1.直线平台与旋转平台的高度集成化2.气动3爪卡盘或ER筒夹3.较大的通孔可以使产品通过4.可选择在前后加工的平台5.直接驱动直线和旋转电机技术相关文档***PlanarHD气浮平台1***大2m/s扫描速度和5g加速度的输出2***快的转向和***小的稳定时间3主动偏转控制4直线光栅或激光干涉仪反馈5行程1.2mx1.2m行程≤1200mm精度&plu***n;300nm重复***精度&plu***n;50nm分辨率0.25nm更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@APT系列平转和倾斜组合转台1满足安全，国防建设和监测***市场的需要2把***的高精密机械与业界***的控制技术结合在一起3惯性稳定4包含内置滑环，可连续旋转360°5高***精度和速度性能6易于安装和系统集成的集成电路7低维护，高可靠性提供***低的拥有成本平转：***高速度180°/秒，持续360°倾斜：***高速度180°/秒，范围为&plu***n;95°位置分辨率：7.6弧秒***精度：120弧秒有效载荷：35公斤更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@)