ABL8000气浮平台1专为有效负载大,负载***偏离机架中心线的应用设计2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性***3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)4行程达1米5直线编码器或激光干涉仪反馈6可集成包括花岗岩的XY子系统行程≤1000mm精度&plu***n;0.50um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.40um平面度&plu***n;0.40um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@)