ABL1000气浮平台1专为高性能校准和装配应用设计2分辨率达2nm的直线编码器反馈3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)4全预加负载气浮导轨(空气轴承)5低噪音线性放大器6全部非接触设计行程≤150mm精度&plu***n;0.20um重复***精度&plu***n;0.05um直线度&plu***n;0.25um平面度&plu***n;0.25um更多技术内容及应用请联系Aerotech销售经理张巨鹏18518556588jupeng.zhang@)