MicroFlow的质量流量计系列是检测部采用了本公司***开发的热式流速传感器「μF传感器（MicroFlowSensor）」的质量流量计。使用微型机器技术、把超微细的流速传感器与***的流路设计技术进行融合，用***格实现了以前没有的高精度、宽可调比。适用于生产工序、实验装置等使用的燃料煤气?各种工业煤气?工厂空气的流量管理及各车间的使用量管理等。质量流量检测与空气、煤气的使用温度、压力无关，可测量换算成标准状态下的流量。（*标准状态下的流量是指在1个大气压、0°C（或20°C）时的体积流量。）宽广的测量范围相对于***大测量流量的低流量区域，一般的气体流量计都难于检测，通过搭载μF传感器，可实现宽广范围的测量、控制。实现了质量流量计CMS的可调比100：1、大流量质量流量计CML的可调比160：1（测量范围为1,280：1）的高可调比！***适合于空气及燃气的使用量的管理、及节能的漏气管理。快速响应传感器直接与气体接触进行检测，实现了快速响应。低圧损构造μF传感器设置在流路的壁面上，所以阻碍流体流动的构造体少，具有低压力损失的特点。***适合于低圧气体流量的检测、控制。高精度质量流量计采用RD（读数）精度规定，实现了宽广流量区域下的高精度检测。各种功能通过控制机器积累的微电脑的技术，搭载了以前的质量流量计没有的各种功能。瞬时／累积流量显示、煤气种类切换功能、上下限报警输出、模拟输出、累积脉冲输出、通信功能等（*因产品而异）种类丰富的产品根据使用用途，备有从0～500mL/min到0～1600m³/h的宽广流量区域的产品。气体质量流量计CMS系列外观主要用途口径(B)流量量程工业气体的种类管理、试验研究1/41/20.5L/min～2000L/minGasTypes空气氮气氧气***气二氧化碳城市煤气沼气丙烷丁烷氢气氦气***■■■■■■■■■■■空气管理用仪表MCF系列外观主要用途口径(B)流量量程压缩空气、氮气的节能管理1/41/2111/22200L/min～12000L/minGasTypes空气氮气氧气***气二氧化碳城市煤气沼气丙烷丁烷氢气氦气***■■气体质量监测计CMG系列外观主要用途口径(B)流量量程烧嘴空燃比、单位能耗管理1/2111/224m³/h～150m³/hGasTypes空气氮气氧气***气二氧化碳城市煤气沼气丙烷丁烷氢气氦气***■■■■■大流量质量流量计CML系列外观主要用途口径(B)流量量程城市煤气、工业气体的单位能耗管理、交易2346160m³/h～1600m³/hGasTypes空气氮气氧气***气二氧化碳城市煤气沼气丙烷丁烷氢气氦气***■■■■■■■■■空气质量流量传感器MCS系列外观主要用途口径(B)流量量程吸附检查1/8-0.5～+0.5L/min0～0.5L/min-3～+3L/min0～3L/min0～5L/min0～10L/minGasTypes空气氮气氧气***气二氧化碳城市煤气沼气丙烷丁烷氢气氦气***■■)