
智能供气CVD 实验室小型CVD系统化学气相沉积系统
价格:88.88
产品用途气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.控制方式采用集成化模块控制功能延伸性强根据客户要求随意添加该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.1.半导体制造行业中气体流量控制2.各种真空镀膜设备3.特种材料表面处理4.气体燃烧控制5.混和配气系统6.泄漏探测系统7.环境检测与分析设备8.分析仪器的气体流量计量与控制9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所技术资料;产品型号KT-C3Z产品类型高精度型/快速响应型/智能控制触摸屏控制可选量程20sccm-10slm产品精度&plu***n;1%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S线性&plu***n;1%F.S.响应时间≤4sec工作温度范围(5~45)°C供电电源~85-265VAC50/60Hz***大功耗40W进气口压≤0.6MPa连接管道φ4-6mm316不锈钢管道截止阀类型电磁阀单向阀开启压力0.02Mpa压力显示量程0-0.6Mpa控制方式7寸触摸屏智能调节时间设定0-99999清洗功能一键清洗数据导出无程序控制5段可编程序(时间-流量随意设定值)压力显示有(出气压力检测)气体缓冲罐有流量累计有(累计当前运行总流量)可选进出气口接头形式3MM6MM1/8mm1/4mm双卡套接头抗电磁干扰无外形尺寸460X210X480重量18KG)