精密***台http:///ParentList-mlhttp:///st16132/list_ml精密***台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Y轴、XY轴、XYZ轴精密运动的平台，驱动形式包括压电陶瓷直驱式与机构放大式两种，运动范围***大可达110μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、***精度具有极高的可靠性，压电平移台在精密***领域中发挥着至关重要的作用。II精密***台为压电陶瓷直驱机构压电平台，采用柔性铰链结构设计具有无摩擦、响应速度快等特点，***大运动行程110μm，分辨率可达0.1nm，***精度实现纳米级，可通过自由组合成二维、三维压电纳米***台。特点：柔性铰链结构设计，无摩擦***大行程110μm开环与闭环版本可选FEA有限元分析优化产品性能可组合成二维、三维纳米***台)