精密位移台
精密位移台http:///ParentList-mlhttp:///st16132/list_ml精密位移台中心具有通孔,台体集成高精度传感器,采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的***,生物显微与显微成像系统。精密位移台包括一维、二维、三维三种运动形式,***大运动范围可达370μm。P-78精密位移台,采用一体式设计,柔性铰链机构,XYZ三维运动无耦合,无机械摩擦,响应速度快,满足不同应用的需求。特点:1-3维运动***大运动范围370μm一体式结构设计,多维运动无耦合***大透光孔径35mm闭环精度可达0.15%F.S.应用:原子力显微镜•高分辨率CCD•三维共焦显微•激光平面干涉•纳米光刻•红外热成像扫描•光纤对接•纳米光刻)
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