FR-portable便携式膜厚仪主要由以下系统组成：Α白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。小型光谱仪，光谱范围370nm–1050nm,分辨精度可达3648像素，16位级A/D分辨精度；配有USB通讯接口；Β)FR-Monitor膜厚测试软件系统，可***计算如下参数：1）单一或堆积膜层的厚度；2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用***，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。C)参考样片：a)经校准过的反射标准硅片；b)经校准过的带有SiO2/Si特征区域的样片；c)经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片；D)反射探针台和样片夹具可处理***大的样品尺寸达200mm,包含不规则的尺寸等；手动调节可测量高度可达50mm；可针对更大尺寸订制样片夹具；Ε)反射率测量的光学探针内嵌系统6组透射光探针200μm,1组反射光探针200μm；F)附件FR-portable透射率测量套件；Thicknessmeasurementrange12nm–90μmRefractiveIndexcalculationPThicknessmeasurementAccuracy0.2%or1nmThicknessmeasurementPrecision0.04nmor1‰(0.01nm)Thicknessmeasurementstability0.02nmSamplesize1mmto200mmandupSpectralRange400nm–1100nmWorkingdistance3mm-20mmSpotsize0.35mm(diameterofthereflectancearea)LightSourceLifetime20000hW***elengthresolution0.8nmNumberofLayersMeasuredMax.5layersMeasurementtime(maxacquisitionspeed)10ms/pointA/Dconverter16bitPowerUSB–suppliedDimensi***300mmx110mmx40mm)