SPIN150i匀胶机
匀胶机(英文名:SpinCoater)适合半导体硅片的匀胶镀膜详细介绍:匀胶机(英文名:SpinCoater&SpinProcessor)行业俗称:匀胶台、甩胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机一、产品概述:SPIN150i型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是SPIN150i型匀胶机的特点。二、匀胶机工作原理:匀胶机(spincoater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机主要性能指标:1、腔体直径:8英寸(202毫米);2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直径的材料,4英寸方片;3、转速范围:1~12000RPM**,&plu***n;1rpmsteps;4、***大加速度:30000RPM/S;5、转速精度:&plu***n;0.1rpm;6、程序段数:无限制;7、操作步数:无限制;8、旋转时间:无限制*,&plu***n;0.1Secondsteps;9、旋转方向:顺时针,逆时针,交换摆动;10、扩展接口:1个USB接口;11、马达保护:20-50kPa,2-5l/min,TubeODØ6mm(可关闭);12、排废连接:1”M-NPT;13、触屏控制:全彩触摸屏控制界面;)