特点带有气体采样流量自动控制功能LCD显示，现场状态一目了然实现小型、轻量化可简单地更换传感器和采样气路带有防止传感器单元错误插入的功能可以设定多样的维护模式组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等实现了用PDA读取数据符合CE规格，SEMI规格规格型号PS-7标准型附带转换器组件型检测原理•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式•热分解+定电位电解式采样方式泵吸引式（0.5L/min吸引流量自动控制）采样配管特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内气体浓度显示液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图报警接点•气体报警（1段以及二级）报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面第1段ALARM1第1段ALARM1ALARM2显示•流量降低报警堵塞指示显示：流量显示为低速运转报警：***LED指示灯闪烁：液晶画面FLOW显示以及流量显示为停止运转状态•传感器故障报警/传感器误插入报警报警：***LED指示灯闪烁：液晶画面SENS.显示•热分解炉断线报警报警：***LED指示灯闪烁：液晶画面CONV.显示外部输出气体浓度模拟输出D***~20mA（与电源的负极通用）气体报警接点（1段以及两极）1a无电压接点/自动复位故障报警接点（开路集电极/自动复位）适合电缆线控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x23芯或者4芯使用温度湿度范围0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露）使用电源DC24V&plu***n;10%消耗电力约7w尺寸•W62xH124xD143mm(除去突起物)•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)重量约1.0kg安装方法壁挂式)