集成热压阻共振悬臂梁，***可变换，成像时间少于1分钟（无需激光对准）；热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近；热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖，具有低漂移，适应长时成像实验；系统高度集成小巧，具有极强的振动***性，可在任意平面上直接测量，无需隔震；氧化铝针尖具有超长使用寿命，可连续成像超过10000张。nGauge应用方向技术参数nGuageAFM参数zei大扫描范围（XYZ）15umx15umx10umXY扫描分辨率<0.5nmXYZ驱动方式电热法传感器压阻动态RMS噪声<1nm成像模式间断接触，动态AFM扫描速度>8lines/s硬件参数系统尺寸70mmx90mmx75mm载物台尺寸（XY）70mmx43mmZ轴行程20mm驱动方式步进电机系统重量450g隔震装置无需额外隔震装置)