主要技术指标常规的处理量：0.1-50g升华区温度：50-800℃沉积区温度：50-500℃炉管尺寸(：Φ50x1200mm高纯石英管加热区分布：100+200+100+100+100mm控温点数量：5点***控温控温方式：数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表，采用模糊型PID控制开启方式：开门式炉体结构上下翻盖液压手动开启极限真空（洁净系统）：5X10-5Pa分子泵抽气速率：100L/S额定功率：5KW额定电压：AC220VSinglePhase，50/60Hz过滤方式：系统采用三级过滤保护装置，分别采用多级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤)