s***00lc_s可适用于***大第10代玻璃基板，能搬运的重量达400kg。有效利用多关节型的特点，不仅可用于水平搬运，还可广泛用于翻转等所有形式的玻璃基板搬运。●具有6轴的多关节结构，可实现灵活搬运可用于从立式收纳盒中取出基板以及伴有倾斜、翻转等姿势变换的所有搬运工作●拥有充足的可搬运能力的长臂延伸模式有能处理G10基板的臂长，其行程***大延伸至3.6m、上下行程为4.8m工作范围(*1)本产品的额定功率、规格、外部尺寸等如需改良而变更，恕不另行通告。(*2)如果本产品的***后使用者与军事相关，或用于***等的制造，可能成为“外汇及国际贸易法”规定的出口限制的对象。出口时，请进行充分的审查和办理所需的出口手续。机器人型号S***00LC-01结构关节型自由度6驱动方式AC伺服方式***大工作范围臂J1旋转&plu***n;2.62radJ2上下+1.83～-.44radJ3前后＋2.09～－.44rad手腕J4转动2&plu***n;5.24radJ5弯曲&plu***n;2.09radJ6转动1&plu***n;6.28rad***大速度臂J1旋转1.40rad/sJ2上下1.40rad/sJ3前后1.40rad/s手腕J4转动21.57rad/sJ5弯曲1.57rad/sJ6转动12.53rad/s***大搬运重量腕部400kg臂部第1臂10kg※1J3轴上部30kg※1手腕允许静负荷扭矩J4转动21,960N・mJ5弯曲1,960N・mJ6转动1980N・m手腕允许***大惯性力矩J4转动2200kg・m2J5弯曲200kg・m2J6转动1147kg・m2清洁度1000级（联邦标准209D）位置反复精度&plu***n;.5mm周围温度10～30°C周围湿度20～85%RH（应无结露）振动值0.5G以下设置条件座架式主机重量3,800kg1[rad]=180/π[[°],1[N･m]=1/9.8[kgf･m]臂上的负荷搭载位置为第1臂或J3轴上部)