工艺:扩散(硼扩散、磷扩散等),氧化(干氧氧化、湿氧氧化-去离子水氧化、氢氧合成氧化等),退火,合金等等。晶圆规格:4"、5"、6"、8";太阳能电池为125×125、156×156工艺管数:水平结构为1-4管,垂直结构为1管产品类型:生产型,科研型(R&D-小型)产品等级:普通级(一般性的科研与生产)系统组成:主机(FURNACE)、气源柜(GAS/SOURCECABINET)、工作台(LOADSTATION-自动送片/净化)、计算机控制系统设备可配套提供典型的工艺及配套解决方案扩散/氧化炉系统的主要技术指标炉管配置:1-4管/台晶圆规格:4"、5"、6"、8"炉体控制段:3/5段恒温区长:760(800)mm/1000mm反应室配置:石英管/碳化硅管加热体材料:KANTHALAPM/A-1或相当温度均匀性:800-1300℃/&plu***n;0.5℃300-900℃/&plu***n;1℃工艺温度范围:300-1300℃***大可控升温速度:15-20℃/min***大降温速度:(1250~1000℃)8℃/min控制系统:工业计算机(10"-15"液晶屏)送片系统:SiC悬臂/双石英杆净化等级:100级或更好净化风流:水平或垂直送片速度:100mm-500mm/min***精度:2mm气源气路:EP级316L管道1/4"或3/8"阀门组件:SWAGELOK或相当管道焊接:自动轨道焊接工艺保证:提供典型的工艺)