太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。◆温区精度(静态闭管测试):600℃<工作温度<1200℃:&plu***n;0.5℃300℃≤工作温度≤600℃:&plu***n;1℃◆单点温度稳定性(静态闭管测试):600℃<工作温度<1200℃:&plu***n;0.5℃/24h◆气体流量设定精度:&plu***n;2%FS◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s◆自动送料装置行程:~2000mm)