福润德牌氧化扩散炉
应用:半导体集成电路及器件的扩散、氧化、合金、退火等工艺工艺:扩散(硼扩散、磷扩散等),氧化(干氧氧化、湿氧氧化-去离子水氧化、氢氧合成氧化等),)
主营：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体
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