加热炉体可完全代替进口炉体,优质加热炉丝,进口保温材料,采用国外***加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度2000℃-1286℃。设备特点:可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步工艺曲线的自动运行控制功能工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能自动运行中可暂停/继续运行功能可存储多组PID参数供系统运行调用功能PID参数自整定功能技术指标:可配置工艺管外径2~8英寸可配置工艺管数量:1~4管/台工作温度范围:400~1300℃恒温区长度及精度:300~1250mm800~1300℃&plu***n;0.5℃单点温度稳定性:800~1300℃&plu***n;0.5℃/24h)