表面粗糙度是反映加工表面微观几何形貌的一个重要参数,对工件的使用寿命和工作性能有着直接而重要的影响。因此,对工件表面粗糙度进行客观、科学非接触式激光粗糙度仪的检测和评定,已成为加工领域中的一个重要课题。传统的表面粗糙度测量方法是采用机械探针沿被测表面运动从而获取其表面轮廓。这种方法迅速方便、应用广泛,如Talysurf系列,它的垂直和水平精度分别达到1nm和1μm。然而,这种方法的测量结果易受探针针头直径和形状的影响,而且容易损坏被测表面,不适用于在线测量。随着工业的发展,对表面粗糙度测量的要求越来越高,很多零件由抽检改成必检,所以发展表面非接触式激光粗糙度仪粗糙度在线非接触检测具有重要的意义。激光法因其独特的优势,迅速发展起来。目前发展比较成熟的激光检测方法有:激光聚焦法、激光散射法、激光散斑法和暗区比测量法。2?激光聚焦法激光聚焦法是以一非接触式激光粗糙度仪个聚焦光点入射到被测表面上模拟机械触针进行测量,由于表面粗糙度的存在,光电探测器上的信号会发生变化,通过测量信号的变化量来计算非接触式激光粗糙度仪表面粗糙度的数值。目前发展比较成熟的激光聚焦方法是激光探针干涉法,其原理是采用很细的聚焦光探针入射被测表面,物体表面的高度变化引起参考光和测量光光程差的变化,通过相非接触式激光粗糙度仪http:///17shidai-SonList-763851/商铺http:///st26689/ml)